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请解释一下「聚焦环」这个词的含义。
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聚焦环
jù jiāo huán · ㄐㄩˋ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢˊ
ju jiao huan
jjh
ㄐㄩ ㄐㄧㄠ ㄏㄨㄢ
2026-07-16 15:07:40
扩展释义
聚焦环和等离子体处理装置，在可以提高处理的面内均匀性的同时，与现有技术比较，还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。
请解释一下「聚焦环」这个词的含义。
聚焦环和等离子体处理装置，在可以提高处理的面内均匀性的同时，与现有技术比较，还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。