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请解释一下「扩散炉」这个词的含义。
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扩散炉
kuò sàn lú · ㄎㄨㄛˋ ㄙㄢˋ ㄌㄨˊ
kuo san lu
ksl
ㄎㄨㄛ ㄙㄢ ㄌㄨ
2026-07-13 02:39:18
扩展释义
扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
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扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。