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请解释一下「真空镀膜机」这个词的含义。
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真空镀膜机
zhēn kōng dù mó jī · ㄓㄣ ㄎㄨㄥ ㄉㄨˋ ㄇㄛˊ ㄐㄧ
zhen kong du mo ji
zkdmj
ㄓㄣ ㄎㄨㄥ ㄉㄨ ㄇㄛ ㄐㄧ
2026-07-11 23:30:42
扩展释义
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。