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请解释一下「光掩膜」这个词的含义。
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光掩膜
guāng yǎn mó · ㄍㄨㄤ ㄧㄢˇ ㄇㄛˊ
guang yan mo
gym
ㄍㄨㄤ ㄧㄢ ㄇㄛ
2026-07-12 12:20:09
扩展释义
在半导体制造的整个流程中，其中一部分就是从版图到晶圆（wafer）制造中间的一个过程，即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分，是流程中造价最高的一部分，也是限制最小线宽的瓶颈之一。
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