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离子束外延
lí zi shù wài yán · ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕㄨˋ ㄨㄞˋ ㄧㄢˊ
li zi shu wai yan
lzswy
ㄌㄧ ㄗ ㄕㄨ ㄨㄞ ㄧㄢ
2026-07-12 22:48:37
扩展释义
离子束外延是在真空环境中，用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。
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离子束外延是在真空环境中，用含有外延生长所需元素的低能离子束在衬底上生长单晶薄层的工艺。