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请解释一下「离子束探针」这个词的含义。
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离子束探针
lí zi shù tàn zhēn · ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄕㄨˋ ㄊㄢˋ ㄓㄣ
li zi shu tan zhen
lzstz
ㄌㄧ ㄗ ㄕㄨ ㄊㄢ ㄓㄣ
2026-07-11 04:45:33
扩展释义
离子束探针，以聚焦很细(1～2微米)的高能（10～20千电子伏）一次离子束作为激发源照射样品表面，使其溅射出二次离子并引入质量分析器，按照质量与电荷之比进行质谱分析的高灵敏度微区成分分析仪器，聚焦很细，为1～2微米。
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