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请解释一下「离子铣」这个词的含义。
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离子铣
lí zi xǐ · ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ
li zi xi
lzx
ㄌㄧ ㄗ ㄒㄧ
2026-07-10 16:54:28
扩展释义
离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。
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