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请解释一下「阴极溅射」这个词的含义。
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阴极溅射
yīn jí jiàn shè · ㄧㄣ ㄐㄧˊ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ
yin ji jian she
yjjs
ㄧㄣ ㄐㄧ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ
2026-07-11 12:15:30
扩展释义
当真空室内的真空度为13Pa时，在阴阳两电极之间加上一定的电压，气体就会发生自激放电，从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳极或真空室的壁上。这种溅射就称为阴极溅射。
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