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请解释一下「对准精度」这个词的含义。
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对准精度
duì zhǔn jīng dù · ㄉㄨㄟˋ ㄓㄨㄣˇ ㄐㄧㄥ ㄉㄨˋ
dui zhun jing du
dzjd
ㄉㄨㄟ ㄓㄨㄣ ㄐㄧㄥ ㄉㄨ
2026-07-10 10:31:24
扩展释义
光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。
请解释一下「对准精度」这个词的含义。
光刻机的对准系统（alignment）负责把掩模上存在的图形与晶圆上已有的图形进行对准，对准精度（Alignment Precision，AP）则为掩模上与晶圆上图形对准时套刻的精度。