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请解释一下「投影透镜」这个词的含义。
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投影透镜
tóu yǐng tòu jìng · ㄊㄡˊ ㄧㄥˇ ㄊㄡˋ ㄐㄧㄥˋ
tou ying tou jing
tytj
ㄊㄡ ㄧㄥ ㄊㄡ ㄐㄧㄥ
2026-07-10 18:16:12
扩展释义
投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜，用于对准的激光束照在晶圆上，其反射束经过曝光系统的透镜，汇聚在掩模上成像。
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