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请解释一下「磁控溅射法」这个词的含义。
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磁控溅射法
cí kòng jiàn shè fǎ · ㄘˊ ㄎㄨㄥˋ ㄐㄧㄢˋ ㄕㄜˋ ㄈㄚˇ
ci kong jian she fa
ckjsf
ㄘ ㄎㄨㄥ ㄐㄧㄢ ㄕㄜ ㄈㄚ
2026-07-15 22:51:40
扩展释义
磁控溅射法是在高真空充入适量的氩气，在阴极（柱状靶或平面靶）和阳极（镀膜室壁） 之间施加几百K 直流电压，在镀膜室内产生磁控型异常辉光放电，使氩气发生电离。
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